低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵,又称冷凝泵。低温泵可以获得抽气速率最大、极限压力*低的清洁真空,广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产,以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。
低温泵是采取机械形式制冷的低温液体循环设备,该设备特别适合于需要维持低温环境、固定低温环境下工作的化学、生物、物理实验室,是食品工业、化学工业、大学院校、科研、遗传工程、高分子工程等实验室的常用设备。
优势:
(1)低温泵在获取洁净和无油真空方面,具有其他产品无法相比的优势。它可以作为研究其他真空泵对真空污染程度的标准;
(2)低温泵在抽除水蒸汽和其他潮湿混合气方面具有较大抽速;
(3)低温泵在抽取轻重量分子方面也具有较大抽速;
(4)在要求大抽速的真空设备中,低温泵是实用经济的。商品化的低温泵可以在很小的口径下提供大的抽速;
(5)低温泵是基于低温吸附而工作的,不需要其他电子材料,不会有波动;
(6)在真空中无任何运动部件,高稳定性,也不会带来密封问题;
(7)低温泵的安装无任何方向要求;
(8)低温泵还可以进行选择性的抽取某种气体。